(l)耐久性; (2)成本; (3)適應性; (4)可維護性; (5)清洗。
(1) 耐久性:無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空調箱
空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁,基於它的耐久性,然而
,它不是便宜的物質。
(2) 清洗:在制藥和生物工學工業,無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的汙染之特性。在 biotech 市場,清洗真正地是一個最重要的企業。
(3) 成本:微電子C/R 建設費可能花費到$10億。fab 能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢將成為一個很重要的考慮因素。
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